半导体硅公司-广西半导体硅-中兴耐材

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    2023-7-22

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氧在热处理中的行为非常复杂。直拉单晶经300~500℃热处理会产生热施主,广西半导体硅,而经650℃以上热处理可除热施主,同时产生氧沉淀成核中心,半导体硅价格,在更高温度下处理会产生氧沉淀,半导体硅公司,形成层错和位错等诱生缺陷,利用这些诱生缺陷能吸收硅中有害金属杂质和过饱和---缺陷的特性,发展成使器件由源区变成“洁净区”的吸除工艺,能提高器件的成品率。





材料的纯度主要取决于硅多晶的制备工艺,同时与后续工序的玷污也有密切关系。材料的均匀性主要涉及掺杂剂,---是氧、碳含量的分布及其行为,在直拉生长工艺中采用磁场(见磁控直拉法单晶生长)计算机控制或连续送料,使均匀性得到很大---;对区熔单晶采用中子嬗变掺杂技术,---了均匀性。在结构完整性方面,直拉硅单晶早已采用无位错拉晶工艺,工作主要放在氧施主、氧沉淀及其诱生缺陷与杂质的相互作用上。





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