




半导体硅材料(semiconductor silicon)是主要的元素半导体材料,包括硅多晶、硅单晶、硅片、硅外延片、非晶硅薄膜等,可直接或间接用于制备半导体器件。硅为周期表中ⅳ族元素。在地壳中主要以二氧化硅和硅酸盐形式存在。丰度为27.7%,次于氧。硅的原子量为28.05,25℃下密度为2.329g/cm3,具有灰色金属光泽,较脆,硬度6.5mohs,稍低于石英。
氧在热处理中的行为非常复杂。直拉单晶经300~500℃热处理会产生热施主,而经650℃以上热处理可除热施主,同时产生氧沉淀成核中心,在更高温度下处理会产生氧沉淀,形成层错和位错等诱生缺陷,高纯硅粉99.9%多少钱一吨,利用这些诱生缺陷能吸收硅中有害金属杂质和过饱和---缺陷的特性,发展成使器件由源区变成“洁净区”的吸除工艺,能提高器件的成品率。
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